数字毛细管流量测试仪 毛细管流通能力测定仪

指标

Specifications

流量测量范围

0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM

Flow range

流量测量范围

±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）

Accuracy of flow

压力测量范围

0~1.5 MPa

Pressure range

压力测量精度

0.1%FS

Accuracy of pressure

系统单点漏率

1×10-7SCCS He

Leak integrity

供电电源

~220VAC±10%

Power supply

zui大功耗

15 W

Max consumption

外形尺寸

440×260×260mm

Dimension

重量

8 Kg

Weight